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从具材料分析，只有单晶天然金刚石能满足上述要求。同时，经过近十年的高速发展，金刚石具理论与技术已经有了丰富积累，基本具备了研制发上述高精度具的能力。运用前述金刚石具超精密技术出的金刚石具与微型机械具的要求仍有距离，需要进一步研制发更 的方法。近年来发了采用各种化学机理研磨金刚石具的方法，以下介绍的三种方法均可达到原子级水平。热化学方法。热化学方法的机理为：在温度为8℃时，若金刚石表面与铁接触，金刚石晶体中的碳原子能够摆脱自身晶格的约束，扩散到铁晶体晶格中去。